濟(jì)南市電子廠房潔凈檢測(cè)內(nèi)容和方法--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司 目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車(chē)間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開(kāi)放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法,在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí),還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1-5級(jí)時(shí),基本上采用單向流或混合流;空氣潔凈度等級(jí)為6-9級(jí)時(shí),基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時(shí)冷熱抵消現(xiàn)象,對(duì)于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。
電子潔凈廠房是屬于企業(yè)里資金投入特別大的部分,潔凈廠房?jī)艋療o(wú)塵車(chē)間建設(shè)完成后,能否達(dá)到設(shè)計(jì)目的(滿(mǎn)足產(chǎn)品工藝生產(chǎn)要求,符合GMP的要求),需要通過(guò)實(shí)踐檢則來(lái)確認(rèn)故數(shù)據(jù)。
電子廠房潔凈檢測(cè) 千級(jí)無(wú)塵車(chē)間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是0.5微米的*容許粒子濃度小于35200(pc/m3),5微米的*容許粒子濃度小于2930(pc/m3);百級(jí)車(chē)間的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下??梢钥闯鰸崈舳鹊燃?jí)越高的車(chē)間,標(biāo)準(zhǔn)也更高,要求車(chē)間內(nèi)的塵埃粒子數(shù)量更少,這樣無(wú)塵車(chē)間才能更潔凈。
配電:潔凈室(區(qū))的主要生產(chǎn)用地一般照度值宜≥300Lx;輔助工作室、人員潔凈和物料潔凈用室、氣閘室、過(guò)道等的照度值宜為200~300Lx。
廠房潔凈度檢測(cè)費(fèi)用根據(jù)具體的廠房標(biāo)準(zhǔn)要求,對(duì)應(yīng)的檢測(cè)項(xiàng)目而定的。廠房潔凈度檢測(cè)根據(jù)要求需要在CMA第三方潔凈檢測(cè)機(jī)構(gòu)辦理檢測(cè),出具CMA廠房潔凈度檢測(cè)報(bào)告。廠房潔凈度檢測(cè)機(jī)構(gòu)- ,具備CMA,出具的潔凈室檢測(cè)報(bào)告方能真實(shí)反映潔凈廠房實(shí)際情況,可作為第三方公正評(píng)價(jià)的依據(jù)。 電子潔凈車(chē)間一般要求潔凈度在10萬(wàn)級(jí)標(biāo)準(zhǔn)以上的車(chē)間,主要是按照按照每一立方米空氣中含有的0.5微米塵粒數(shù)計(jì)算。根據(jù)潔凈度不同分為100級(jí)(小于3.5個(gè)),1000級(jí)(小于35個(gè)),10000級(jí)(小于350個(gè)),100000級(jí)(小于3500個(gè))。
電子廠房潔凈檢測(cè) 因?yàn)閮艋こ痰臋z測(cè)主要關(guān)注兩種粒徑,即0.5um和5um。等速采樣對(duì)≤0.5um的顆粒影響不大。如果采樣空氣用于計(jì)算大于或等于 0.5um 的粒徑濃度,如果這些粒子不受等速條件的影響,則計(jì)算結(jié)果不受影響。因此潔凈室區(qū)域非等速采樣只對(duì)大于等于0.5um的顆粒有意義。
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術(shù)發(fā)展迅速。現(xiàn)代電子產(chǎn)品要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性,電子產(chǎn)品本身使用的集成電路、電子元器件的生產(chǎn)過(guò)程都要求在受控的環(huán)境下進(jìn)行操作,受控參數(shù)涉及微粒、化學(xué)污染物等與產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程接觸的各種介質(zhì)。電子廠房?jī)?nèi)氣流組織依據(jù)氣流流型可劃分為單向流、非單向流和混合流三種形式。
天津中達(dá)檢測(cè)有限公司濟(jì)南分公司專(zhuān)注于潔凈環(huán)境檢測(cè)出具CMA報(bào)告,主營(yíng):手術(shù)室驗(yàn)收檢測(cè)、PCR實(shí)驗(yàn)室驗(yàn)收檢測(cè)、潔凈車(chē)間驗(yàn)收檢測(cè)、生物安全柜凈臺(tái)隔離裝置檢測(cè)、負(fù)壓病房驗(yàn)收檢測(cè)、實(shí)驗(yàn)室驗(yàn)收檢測(cè)、高效過(guò)濾器檢漏,等項(xiàng)目。(snjjhjjc)
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