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層流凈化電子廠潔凈室環(huán)境檢測(cè)第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司 電子凈化廠注意要點(diǎn):防止灰塵、防靜電、防止負(fù)壓;集成電路生產(chǎn)(分為光掩膜、前道工序、后道工序),顯示器生產(chǎn)(分為L(zhǎng)CD,PDP,TFT,VFD,顯像管),硅材料 生產(chǎn)(單晶硅、多晶硅),光纖生產(chǎn),制卡業(yè),表面貼裝(SMT),分離器件生產(chǎn)(功率一、二、三級(jí)管,電容、電阻),整機(jī)組裝生產(chǎn)(機(jī)頂盒、數(shù)字投影儀、電子數(shù)碼相機(jī)),自控元器件生產(chǎn)(傳感器、執(zhí)行機(jī)構(gòu))等。微電子工業(yè)是當(dāng)前對(duì)潔凈室要求較高工業(yè)潔凈業(yè)-如現(xiàn)代工業(yè)中的液晶、光纖等的生產(chǎn),同樣均有潔凈度的要求。
電子廠凈化工程不一樣級(jí)別氣體潔凈度等級(jí)的空氣過(guò)濾網(wǎng)的采用、布局關(guān)鍵點(diǎn):針對(duì)300000級(jí)空氣過(guò)濾解決,可選用亞高效過(guò)濾器替代高效送風(fēng)口;氣體潔凈度等級(jí)100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)及100000級(jí)的空氣過(guò)濾解決,應(yīng)選用初、中、高效率三級(jí)過(guò)濾裝置;中效或高效率空氣過(guò)濾網(wǎng)宜按低于或相當(dāng)于額定值排風(fēng)量采用;中效空氣過(guò)濾網(wǎng)宜集中化設(shè)定在凈化室內(nèi)空氣調(diào)整的正壓力段;高效率或亞高效率空氣過(guò)濾網(wǎng)宜設(shè)定在凈化室內(nèi)空氣調(diào)整系統(tǒng)軟件的尾端。
電子廠潔凈室環(huán)境檢測(cè) 2、檢測(cè)點(diǎn):根據(jù)標(biāo)準(zhǔn),檢測(cè)凈化車(chē)間潔凈度時(shí),檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)在距室內(nèi)地面水平面1.00m以內(nèi);單向流式無(wú)塵凈化車(chē)間,測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于20個(gè),測(cè)點(diǎn)間距為0.5 -2.0m。水平單向流量測(cè)點(diǎn)僅無(wú)布置;非單向流式無(wú)塵凈化車(chē)間按無(wú)塵凈化車(chē)間面積小于等于50m2布置5個(gè)測(cè)點(diǎn)。3、關(guān)于等速采樣:等速采樣是指在檢測(cè)過(guò)程中,粒子計(jì)數(shù)器的采樣管入口方向與被采樣單向氣流的方向一致,進(jìn)入采樣管入口的空氣平均流速與該位置單向氣流的平均速度。
電子廠房潔凈室空氣潔凈度檢測(cè)項(xiàng)目:凡潔凈室檢測(cè)中所用的一切儀器設(shè)備必須按規(guī)定進(jìn)行鑒定、校正或。潔凈室空氣潔凈度檢測(cè)測(cè)定之前必須對(duì)系統(tǒng)、潔凈室、機(jī)房等處進(jìn)行全面清掃,在清掃和系統(tǒng)調(diào)整后必須連續(xù)運(yùn)行一段時(shí)間,然后進(jìn)行檢漏等項(xiàng)目的測(cè)定。
1、電子制造廠萬(wàn)級(jí)潔凈室噪聲級(jí)(空態(tài))不應(yīng)過(guò)65dB(A)。2、電子制造廠潔凈室滿布比垂直流潔凈室不宜低于60,水平單向流潔凈室不宜低于40,否則會(huì)偏單向流。3、潔凈室與電子制造廠房外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,潔凈區(qū)與不同空氣潔凈度的非潔凈區(qū)的靜壓差不應(yīng)小于或大于5Pa。4、電子制造業(yè)萬(wàn)級(jí)潔凈室新風(fēng)量取下列兩項(xiàng)中較大值:(1)補(bǔ)償維持室內(nèi)正壓值所需的室內(nèi)排風(fēng)量和新風(fēng)量之和。(2)潔凈室每人每小時(shí)新風(fēng)量不應(yīng)少于40立方米。(3)電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)的加熱器應(yīng)設(shè)有新風(fēng)和溫?cái)嚯姳Wo(hù)。如果采用點(diǎn)加濕方式,則無(wú)需設(shè)置水保護(hù)。在寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)有防凍保護(hù)措施。 噪聲測(cè)量要求:高度距離地面約1.2米,潔凈室面積在15平方以下者,可只測(cè)室中心1點(diǎn);面積在15平方米以上,還應(yīng)再測(cè)對(duì)角4點(diǎn),距側(cè)墻各1米,測(cè)點(diǎn)朝向各角
電子廠潔凈室環(huán)境檢測(cè) 車(chē)間應(yīng)用:電子廠凈化工程是潔凈度等級(jí)在10千級(jí)規(guī)范左右的凈化工程生產(chǎn)車(chē)間,關(guān)鍵操縱氣體浮塵顆粒對(duì)工作中目標(biāo)的環(huán)境污染,內(nèi)部務(wù)必維持正壓力情況。
電子無(wú)塵車(chē)間后,為電子無(wú)塵車(chē)間空調(diào)凈化系統(tǒng)軟件的電加熱器出示空氣清新和過(guò)熱關(guān)閉電源維護(hù)(假如應(yīng)用點(diǎn)增濕器,應(yīng)出示沒(méi)有水維護(hù))。嚴(yán)寒氣溫地區(qū)應(yīng)是新鮮空氣系統(tǒng)出示防寒保障措施。 性能無(wú)塵車(chē)間能夠?yàn)殡娮有酒纳a(chǎn)制造和生產(chǎn)制造造就高度清理的環(huán)境。只能在這類(lèi)環(huán)境下,才可以確保電子芯片的生產(chǎn)安全。
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