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ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 GR60A

發(fā)布時間:2025/07/02 15:23:57 發(fā)布廠商:高斯摩(成都)國際貿(mào)易有限公司 >> 進入該公司展臺

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 GR60A

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 GR60A

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機械真空泵。

在 FPD、電子和半導體行業(yè)等領(lǐng)域,需要更清潔的真空,并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 GR60A

干式真空泵“Model:GR”是在久經(jīng)考驗的“Model:LR?HR”的基礎上,為一般工業(yè)設計的結(jié)構(gòu)簡單的泵。

長處

可用于高負載應用,例如大氣~真空的重復抽真空和高壓區(qū)域的連續(xù)運行

非常適合需要高通量的載重鎖室(制備室和取出室)的排氣

與通用感應電機兼容

可安裝防爆電機等特殊電機(可選)

使用多電壓電機

真空排氣清潔氣體,如空氣和惰性氣體

各種沉積設備的制備室和取出室的排氣

一般工業(yè)應用,如真空干燥、真空氣體置換和真空消泡

真空氣體置換,例如真空絕熱和充氣

GR60A 系列 GR90A 系列 GR180A 系列
*抽速 50 赫茲 m3/h(升/分鐘) 62(1860) 112(1030) 183(3100)
60 赫茲 m3/h(升/分鐘) 80(1333) 126(2100) 237(3850)
極限壓力 *1 5.0
*入口壓力
氣壓
*排氣口壓力 1~大氣壓
進氣口 VG50 系列 VG80型
排氣口 西北 40
DRP 表面處理
發(fā)動機 輸出功率 [kW] 2.2 3.7 7.5
電壓 [V] 50 赫茲 200~240/380~415°C
60 赫茲 200~240/380~460°C
質(zhì)量 公斤 128 188 268
冷卻方式 冷卻水
的一次供應壓力
兆帕 0.1~0.3
冷卻水
入口/出口壓差
兆帕 >0.1
冷卻水溫度 °C 10~30 *2
冷卻水流量控制 升/分鐘 >5.0
氮氣 一次供氣壓力 兆帕 0.1~0.5
出口
調(diào)節(jié)壓力 *3
兆帕 0.05~0.1(運轉(zhuǎn))
SLM 系列 5.0 *4
ULVAC(愛發(fā)科)是日本*的真空技術(shù)和精密設備制造商,成立于1952年,部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè),ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統(tǒng)、半導體制造設備、分析儀器等高科技領(lǐng)域,為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務涵蓋:
真空設備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備:濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。

ULVAC愛發(fā)科
多級羅茨干式真空泵
GR60A
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