ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 GR60A

ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨干式真空泵 GR60A

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機械真空泵。

在 FPD、電子和半導體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

干式真空泵“Model：GR”是在久經(jīng)考驗的“Model：LR?HR”的基礎上，為一般工業(yè)設計的結(jié)構(gòu)簡單的泵。

長處

可用于高負載應用，例如大氣~真空的重復抽真空和高壓區(qū)域的連續(xù)運行

非常適合需要高通量的載重鎖室（制備室和取出室）的排氣

與通用感應電機兼容

可安裝防爆電機等特殊電機（可選）

使用多電壓電機

用

真空排氣清潔氣體，如空氣和惰性氣體

各種沉積設備的制備室和取出室的排氣

一般工業(yè)應用，如真空干燥、真空氣體置換和真空消泡

真空氣體置換，例如真空絕熱和充氣

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統(tǒng)、半導體制造設備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。