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LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-3102S
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-3102S
LINTEC琳得科 質(zhì)量流量控制器 MC-3102S
質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一種用于測(cè)量和控制氣體或液體質(zhì)量流量的關(guān)鍵工業(yè)設(shè)備。作為現(xiàn)代工業(yè)自動(dòng)化過(guò)程控制的核心組件,MFC通過(guò)將質(zhì)量流量傳感器、控制閥和比例積分微分(PID)控制電路集成于一體,實(shí)現(xiàn)對(duì)流體流量的高精度閉環(huán)控制,典型控制精度可達(dá)±0.5%~±1.0%滿量程(FS)。
質(zhì)量流量控制器主要由質(zhì)流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構(gòu)成。當(dāng)氣體流入后,部分的氣體從分流器導(dǎo)入質(zhì)流傳感器,由質(zhì)流傳感器所輸出的流量信號(hào)比對(duì)設(shè)定的流量信號(hào),反饋調(diào)節(jié)控制閥的開(kāi)度,以此進(jìn)行流量的控制。
型應(yīng)用場(chǎng)景
1. 半導(dǎo)體制造:
晶圓刻蝕工藝(Cl?、CF?等特種氣體控制)
CVD沉積(SiH?/N?O流量比控制±1%)
2. 新能源領(lǐng)域:
燃料電池氫氣供應(yīng)(動(dòng)態(tài)響應(yīng)<50ms)
鋰電材料燒結(jié)(N?/O?混合控制))
3. 制藥行業(yè):
生物反應(yīng)器氣體供應(yīng)(O?/CO?/N?三聯(lián)控)
4. 科研實(shí)驗(yàn):
催化反應(yīng)研究(多路氣體并行控制)
溫度 | *小壓差 | *壓差 | 精度 | 控制范圍 | *小F.S. | *F.S. | 密封材 |
5~50℃ | 800Pa | 133kPa | ±1%F.S. | 2~*F.S. | 2SCCM | 30SCCM | Au |
技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)
智能化升級(jí):
集成AI預(yù)測(cè)性維護(hù)功能
5G遠(yuǎn)程監(jiān)控與參數(shù)優(yōu)化
微型化發(fā)展:
MEMS流量傳感器(芯片級(jí)集成)
適用于便攜式分析儀器
多物理場(chǎng)耦合:
流量-溫度-壓力協(xié)同控制
適應(yīng)臨界流體等特殊工況
綠色制造:
無(wú)鉛焊接工藝
可再生材料應(yīng)用
LINTEC(琳得科)是一家全球*的高性能膠帶、粘合材料及功能性薄膜制造商,部位于日本,成立于1954年。憑借過(guò)半個(gè)世紀(jì)的技術(shù)積累與創(chuàng)新,LINTEC已成為電子、汽車(chē)、建筑、印刷包裝等行業(yè)的核心材料供應(yīng)商,以*的產(chǎn)品質(zhì)量和*的解決方案聞名。核心技術(shù)領(lǐng)域
LINTEC的核心業(yè)務(wù)涵蓋三大方向:
電子材料:生產(chǎn)半導(dǎo)體封裝膠帶、光學(xué)薄膜、導(dǎo)電膠帶等,廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、平板電腦及半導(dǎo)體制造,助力高精度電子元件加工。
工業(yè)膠帶:提供汽車(chē)粘接、建筑密封等高性能膠帶,以耐候性、強(qiáng)粘著力著稱(chēng),服務(wù)于豐田、本田等企業(yè)。
印刷與包裝材料:開(kāi)發(fā)環(huán)保型標(biāo)簽、裝飾膜等,兼顧美觀與功能性,適用于食品、醫(yī)藥等行業(yè)。