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ULVAC愛發(fā)科 油式旋轉(zhuǎn)真空泵 GHD-031
2025/07/05 15:36:44
ULVAC愛發(fā)科 油式旋轉(zhuǎn)真空泵 GHD-031
ULVAC愛發(fā)科 油式旋轉(zhuǎn)真空泵 GHD-031
油旋轉(zhuǎn)真空泵是一種容積式真空泵,它使用油來減少轉(zhuǎn)子、定子和滑動葉片等部件之間的機(jī)密和不可用空間。 它也被稱為旋轉(zhuǎn)泵。
油旋轉(zhuǎn)真空泵通過使用真空泵油使旋轉(zhuǎn)部件的運(yùn)動平穩(wěn),并通過真空密封提高氣密性,從而實(shí)現(xiàn)高排氣性能。 此外,它是*效的泵類型,可以在大氣壓到高真空范圍內(nèi)有效運(yùn)行,是一種高度可靠的泵,可提供穩(wěn)定的泵送性能。
它是一種使用潤滑油的旋片式真空泵。 它是一種高性能、低噪音和可靠的真空泵。
長處
盡管體積小,但抽速大。
緊湊的尺寸,適合設(shè)備集成。
磁力耦合結(jié)構(gòu)確保軸封無漏油,使用壽命長。
在進(jìn)氣管正下方配備一個止回閥,真空室中沒有油的污染。
低噪音、低振動。
電源線插入式插口支持電源線的多樣化。
通過安裝強(qiáng)制潤滑機(jī)構(gòu)來穩(wěn)定抽速。
它可以在大氣壓下運(yùn)行。
由于內(nèi)部零件通過敲擊銷和法蘭電機(jī)連接,易于維護(hù)。
規(guī)范
項(xiàng)目 | 單位 | 50 赫茲 | 60 赫茲 |
運(yùn)行抽速 | 升/分鐘 | 30 | 36 |
極限壓力 | 帕 | 0.67 | |
電機(jī)功率 | W | 100 | |
使用的油 |
|
R-2 系列 | |
油量 | 毫升 | 370 | |
質(zhì)量 | 公斤 | 9.3 | |
進(jìn)氣口和排氣口 | 毫米 | KF-16、G3/4 型 | |
環(huán)境溫度范圍 | °C | 7~40 | |
*尺寸 | 毫米 | 120(寬) × 288.5(長) × 163(高) | |
符合 RoHS 規(guī)范 |
|
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。