ULVAC愛(ài)發(fā)科油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS2401

2025/07/07 14:21:21

型號(hào)：VS1501/VS2401 是一款旋片式（單級(jí)）油旋轉(zhuǎn)真空泵。水冷和強(qiáng)制潤(rùn)滑系統(tǒng)即使在高負(fù)載下也能提供穩(wěn)定的排氣性能。

此外，它的設(shè)計(jì)考慮到了易于維護(hù)，例如使用大型油位計(jì)。

長(zhǎng)處

采用水冷強(qiáng)制潤(rùn)滑系統(tǒng)即使在高負(fù)荷運(yùn)行時(shí)也能滿足氣缸的

供油量，與差壓潤(rùn)滑系統(tǒng)相比，獲得了穩(wěn)定的排氣性能。

ULVAC愛(ài)發(fā)科油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS2401

使用液壓油防袋當(dāng)泵停止時(shí)

，可以抑制油從油箱回流到進(jìn)氣側(cè)。

考慮到維護(hù)的設(shè)計(jì)

除了采用易于監(jiān)控油況的大型油位計(jì)外，它還具有用于清潔油箱和更換排氣閥的維護(hù)罩。

用

光學(xué)薄膜沉積系統(tǒng)

反射鏡沉積設(shè)備

裝飾氣相沉積設(shè)備

薄膜收卷和沉積設(shè)備

在線濺射設(shè)備

烘烤爐 / 熱處理爐

冷凍干燥設(shè)備

泄漏測(cè)試設(shè)備

太空室

規(guī)范

型				VS1501 系列	VS2401 系列
設(shè)計(jì)抽速		50 赫茲	m3 / 小時(shí) （L/min）		000）
		60 赫茲			800）
極限壓力	GP 已關(guān)閉		帕	≦ 5.3
	GP 開(kāi)放			≦ 80
功耗（極限壓力下）		50 赫茲	千瓦	2.3	2.8
		60 赫茲		2.9	3.6
發(fā)動(dòng)機(jī)	型			全封閉風(fēng)扇式三相異步電動(dòng)機(jī)
	能力		kW （極數(shù)）	5.5（4）	7.5（4）
	電壓	50 赫茲	V	200~240 / 380~415
		60 赫茲		200~240 / 380~460
Noise 值※1（極限壓力下）		50 赫茲	分貝	67	73
		60 赫茲		67	73
使用的油				ULVOIL R-72
所需油量			L	8~10.5
冷卻方式				水冷式
冷卻水	入口壓力		MPaG	≦0.5
	入口壓差			≧0.1
	冷卻水量		升/分鐘	≧4.0	≧5.0
	冷卻水溫度		°C	5~30
	冷卻水 Δt			≦10
進(jìn)氣法蘭				VG80 等效值
排氣口法蘭				VG50 等效值
質(zhì)量			公斤	232	271

ULVAC（愛(ài)發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導(dǎo)體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽(yáng)能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。

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ULVAC愛(ài)發(fā)科 油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS2401

規(guī)范

ULVAC愛(ài)發(fā)科油旋轉(zhuǎn)真空泵 VS2401