NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵

特長


1. NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。




2. 低噪音、低振動




3. 優(yōu)良的耐腐蝕性




4. 標準零部件采用高硬度并經過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。




5. 選購件




6. 可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。



用途


7. ?  活性氣體（CVD、刻蝕等）。




8. ?  排出非活性氣體（濺射鍍膜、   蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。




9. ?  用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）




10. ?  作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。




11. ?  冷凍干燥等水蒸氣排氣。



• 技術參數(shù)
• 外形尺寸圖
• 抽氣速率曲線

* 1  極限壓力是氮氣（密封氣體）在5.0 SLM時的值。

* 2  無結露。

* 3  用調節(jié)閥所調整的壓力表的值。

* 4  氮氣（密封氣體）流量5.0 SLM是固定值。

北崎9年，日本會社20年

優(yōu)勢：

光源類：

1、EYE巖崎——UV燈、照度計 （備庫銷售）

2、SEN日森——UV固化裝置、高壓水銀燈、紫外光清洗設備 （備庫銷售）

3、CCS晰寫速——環(huán)形光源、面光源、光源箱   （部份光源可提供試樣）

4、REVOX萊寶克斯——光源箱

5、SERIC索萊克——人工太陽照明燈

6、POLARION普拉瑞——強光燈

7、FUNATECH船越龍——目視檢查燈  （備庫銷售）

8、USHIO牛尾——UV汞燈、小燈泡

9、ATIEC艾泰克——光源、條光、同軸光、強光燈

10、YAMADA依夢達——光源 （備庫銷售）

儀器儀表類：

1、SANKO山高——膜厚儀、金屬探測儀  

2、TOKI東機產業(yè)——粘度計

3、SONIC索尼克——超聲波風速儀、氣體及液體流量計 （備庫銷售）

4、SAKAGUCHI坂口電熱——熱電偶、耐熱線、熱電對

5、DIT東日技研——靜電消除器、離子風棒

6、SUGIYAMA杉山電機——下死點檢測儀、誤送檢測裝置 （備庫銷售）

7、IIJIMA飯島電子——酸素計、氧氣分析儀、濃度計

8、TORAY東麗——氣體分析儀

9、HIOKI日置——功率分析儀、記錄儀、電流傳感器

10、TOPCON拓普康——色彩亮度計、輝度計、照度計  （備庫銷售）

11、KYOWA共和——應變儀、應變片、傳感器  （部份備庫銷售）

12、USHIO牛尾——照度計 （備庫銷售）

13、ORC歐阿希——照度計 （備庫銷售）

14、AND愛安德——水分計、天平、粘度計 （備庫銷售）

15、YASKAWA安川——磁性開關 （備庫銷售）

16、RKC——熱電偶、溫控器 （備庫銷售）

17、EXCEL——聽音機 （備庫銷售）

小設備類：

1、SIBATA柴田——環(huán)境凈化設備、大流量采樣器、微型泵 （部份備庫銷售）

2、YAMATO雅馬拓——恒溫箱、干燥箱、氣氛爐

3、NEWKON新光——打孔機、鋼印機

4、MUSASHI武藏——點膠機

5、KAIJO凱捷——清洗機

6、TSUBOSAKA壺坂——對比度儀

7、EYELA東京理化---旋轉蒸發(fā)儀

8、NIDEC尼得科——減速機

9、AKiribis雅科貝斯——加工平臺、高速直驅電機

10、OTSUKAEL大塚——光學膜厚儀、粒度儀

專注領域如下：

儀器相關：

山高SANKO（代理）、東機產業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）

備件設備相關：

柴田SIBATA(代理）、 壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機理化EYELA、科庫森KOKUSAN

光源相關：

巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE

電氣控制：

SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）

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